Даа бири — газ-фаза усулы, химиявий був ерлешмеси (КАВ) усулы, оны пиролиз усулы, къуру усулы я да якъув усулы. Онынъ хаммаллары, адет узьре, кремний тетрахлорид, оксиген (я да ава) ве гидрогендир, олар юксек араретте реакциягъа кирелер.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO2+4HCl. Ава ве гидроген сырасынен синтетик гидролиз фурунына ёлланмаздан эвель, басым, айырув, сувутув ве сувсызланув, тоз чыкъарув ве фильтрациягъа огърайлар. Кремний тетрахлориднинъ хаммалы дистилляция ичюн дистилляция колоннасына ёллана, оны бувландырыджыда къыздыралар ве бувландыралар, сонъра ташыйыджы оларакъ къуру ве сюзгючли ава олгъан синтетик гидролиз фурунына ёллайлар. Кремний тетрахлорид юксек араретлерде бувлана (алев арарети 1000-1800 градус ) ве сонъра газ-}фаза гидролизини белли бир микъдарда гидроген ве оксиген (я да ава) 1800 градус этрафында кечире. Бу ерде пейда олгъан газ фазалы кремний парчачыкълары сонъ дередже индже ве газлар олгъан аэрозольлерни мейдангъа кетире, оларны тутмакъ къыйын.
Онынъ ичюн олар башта агрегатордаки даа буюк парчачыкъларгъа топлана, сонъра циклон айырыджы тарафындан топлана ве децидиция фурунына ёллана. Газ-фазалы кремний азот-} РН къыймети 4-тен 6-гъа къадар олгъан аванен ювулмакъта, бу исе битирильген махсулаттыр.